铂金通道环境系统
专利号：CN109678320B
成果方：芜湖东旭光电科技有限公司; 东旭光电科技股份有限公司
成果类型：发明授权
发明人：杨世民; 李青; 杨道辉; 马强; 何怀胜; 王峥; 李震; 石志强
授权日：2024-02-27
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本发明公开了一种铂金通道环境系统，所述铂金通道环境系统包括铂金通道(9)、热电偶机构、第一腔室(8)以及第二腔室(1)；所述第一腔室(8)以及所述第二腔室(1)配置为其腔室内部的温度均能够被调节；所述铂金通道(9)以及所述热电偶机构的热电偶(19)均设置在所述第一腔室(8)中，所述第一腔室(8)设置在所述第二腔室(1)中。本发明能够稳定铂金通道周围环境，提高铂金通道环境波动应急处理能力，延长通道的使用寿命，并且还能提高铂金通道温度的稳定性，从而提升玻璃基板的品质。