用于真空镀膜机扩散泵的水温控制循环冷却系统
专利号：CN103911588B
成果方：西安电子科技大学
成果类型：发明授权
发明人：张显; 常进
授权日：2016-02-10
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本发明公开了一种用于真空镀膜机扩散泵的水温控制循环冷却系统，主要解决现有技术冷却水温高于真空镀膜设备正常工作的安全阈值时将损坏该真空镀膜设备，进入设备的应急用水被白白浪费的问题。本发明包括两个水箱、一个储水罐、水泵、真空镀膜设备、控制水阀、手动电磁阀以及测温报警装置。手动电磁阀将储水罐和水箱连接起来，真空镀膜设备安装测温报警装置并连接电磁阀自动控制整个循环冷却系统，本发明实现了循环水冷却系统的自动控制以及对真空镀膜机的有效保护。本发明可用于实验室中的真空镀膜实验。