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一种磁控溅射镀膜设备保压系统
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专利号:
CN214612737U
成果方:
苏州晶博特镀膜玻璃有限公司
成果类型:
实用新型
发明人:
刘文龙; 王斌; 骆陈喜
授权日:
2021-11-05
价值预估:
请联系我们获取最新价值
本申请涉及磁控溅射加工设备技术领域,尤其涉及一种磁控溅射镀膜设备保压系统,旨在解决现有技术存在有当设备出现故障或供电中断时,难以保障磁控溅射设备内部的真空度,导致设备运行成本增大的缺陷,其技术方案是一种磁控溅射镀膜设备保压系统,包括连接于磁控溅射设备上的供压装置,供压装置包括主箱体和连接于主箱体上的供气管,主箱体内安装有气压检测装置,主箱体上还连接有应急气管,供压装置还包括安装于应急气管内的应急阀与控制器,控制器与应急阀和气压检测装置均连接且被配置为:控制器接收气压检测装置检测得到的信号并根据检测到的信号控制应急阀的开启和关闭,本申请具有保证磁控溅射镀膜设备内的真空度,提高设备稳定性的效果。
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