一种高浓度臭氧发生装置
专利号：CN105271129B
成果方：南京华伯新材料有限公司
成果类型：发明授权
发明人：李伯平; 陈位
授权日：2017-09-29
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本发明公开了一种高浓度臭氧发生装置，包括进气单元、臭氧发生器单元、冷却单元和臭氧出气单元。当氧气均匀通过微间隙时，在射频电源的作用下，产生浓度很高的臭氧。由于中间阳极板采用钛板制成并进行抛光处理，与上腔板和下腔板相应缝隙的通气面设有一层Al2O3，再经研磨后得到非常光滑耐高温、耐腐蚀表面。在冷却部分的前端，设有温度检测装置，一旦检测到温度超过设定值，系统自动调节射频电源的工作功率，保证该装置工作安全稳定。正常工作时，一旦该装置的冷却单元的流量开关检测到冷却水流量没有或较低时，通过控制系统控制电动阀门，关闭正常冷却管路，启动应急冷却水路，自来水接入进行临时冷却，从而保证该装置安全稳定。